CONSULENZA IN MODELLIZZAZIONE E SIMULAZIONE NUMERICA MECCANICA DEI FLUIDI
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Contaminazione particellare in un reattore LPCVD

Problema incontrato

Contaminazione dei sostrati da particelle solide, provocando una diminuzione di produttività.

Obiettivo
Aumentare la produttività

Soluzioni
  • Caratterizzare i fenomeni che generano la contaminazione dei sostrati. La complessità del forno e l'influenza della gravità (convezione naturale, peso delle particelle) impone una simulazione 3D.
  • Ottimizzazione delle condizioni di pompaggio e di riempimento

 
 
Questo tipo di studio è stato applicato ai processi “nitruro”, “poly”, “TeOs “

Questo studio è stato realizzato in collaborazione con ADIXEN.
 
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